شناسایی فاز های موجود در ریز ساختار ماده از طریق ترکیب شیمیایی، نقش به سزایی در شناخت و تعیین فاز های مجهول ایفا می کند. طیف سنجی پراکندگی انرژی پرتو ایکس (EDS) برای تجزیه و تحلیل ساختاری و آنالیز عناصر موجود در نمونه به کار می رود و با نصب آن بر روی میکروسکوپ های الکترونی می توان با مطالعه پرتو هاى بازگشتى از نمونه و تعیین پرتو ایکس مشخصه هر عنصر، با استفاده از قدرت تفکیک و قابلیت بزرگنمایى مختلف، آنالیز کیفى و کمى را بر روی طیف وسیعی از نمونه ها انجام داد. در این مقاله ضمن توضیح نحوه عملکرد و معرفی بخش های مختلف سیستم های EDS ،مزایا و معایب این روش به طور کامل شرح داده شده است.
