تاریخچه:
در سال 1887 اثر فوتوالکتریک توسط هانریش هرتز کشف شد،در سال 1905
اینشتین این مسئله را با استفاده از فیزیک کوانتم توضیح داد و جایزه نوبل 1921
را از آن خود کرد. در 1907 فردی به نام P.D.Innes با استفاده از لامپ کاتدیسیم پیچ هلمهلتز و میدان مغناطیسی نیمکره ای و فیلم عکاسی(برای ثبت اثر الکترونهای ساطع شده) آزمایشی انجام داد که نتیجه آن ثبت اولین طیف سنجیXPS بود.