امروزه مطالعه درباره خواص مواد بدون آگاهی از اطلاعات مربوط به ریزساختار آنها امکان پذیر نیست. به منظور دستیابی به این مهم، استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشیه بسیار رایج و حائز اهمیت است. با توجه به ضرورت به کارگیری باریکه الکترونی برای تصویربرداری در این میکروسکوپ ها و همچنین با در نظر گرفتن این مسئله که طیف گسترده ای از مواد هدایت الکتریکی مناسبی ندارند، استفاده از این میکروسکوپ باعث بروز مشکلاتی برای رسیدن به نتایج مطلوب میشود. برای این منظور، استفاده از پوشش هادی روی سطح نمونه های نیمه رسانا و نارسانا به عنوان بهترین راهکار ارائه شده است که به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد. در این مقاله ابتدا به انواع پوشش های استفاده شده روی نمونه های مورد بررسی در میکروسکوپ الکترونی روبشی اشاره می شود و در ادامه نیز، به دلایل استفاده از هر یک از آنها و انواع روش های پوشش دهی خواهیم پرداخت.
